Большая техническая энциклопедия
2 7
A V W
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Э Ю Я
ИГ ИД ИЕ ИЗ ИК ИЛ ИМ ИН ИО ИП ИР ИС ИТ

Измерение - поверхностное сопротивление

 
Измерение поверхностного сопротивления слоя выполняется путем непрерывного измерения сопротивления контрольного образца ( свидетеля), располагаемого в непосредственной близости от подложки.
Метод двойного резонанса.| Метод замещения для определения в. ч. сопротивления катушки. Измерения полного поверхностного сопротивления проводятся следующим образом. В резонатор, изготовленный из сплава никеля ( монетный металл), вставляется образцовое среднее кольцо из того же металла, что и резонатор. Затем петли связи поворачиваются друг относительно яруга до тех пор, нока сигнал за счет колебания типа Яо1 не исчезнет. Тогда измеряется ширина полосы и резонансная частота.
Измерение поверхностного сопротивления изоляционных материалов производится способом, вполне аналогичным рассмотренному, но только при иной конструкции и другом расположен...
При измерении поверхностного сопротивления на испытуемый образец подается постоянное напряжение, измеряемое электростатическим вольтметром.
При измерении поверхностного сопротивления нужно обеспечить, чтобы через гальванометр протекал только ток / п, идущий по поверхности испытуемого образца А. Для этой цели служит кольцо ОК.
Схема процесса изготовления сферического шлифа на пластине с диффузионным слоем. Наиболее распространенным методом измерения поверхностного сопротивления является четырехзондовый метод.
Схема соединения приборов для измерения поверхностного сопротивления.| Схема измерения весьма больших сопротивлений при помощи баллистического гальванометра. Схема соединения приборов для измерения поверхностного сопротивления приведена на рис. 3.70. Как видно из схемы, через гальванометр проходит тот же ток, что и по поверхности измеряемого образца.
Объемные резонаторы удобны для измерения поверхностного сопротивления и проводимости металлов. Для проведения измерений из исследуемого металла изготовляют объемный резонатор. Более предпочтительны цилиндрические резонаторы, так как можно выточить их из одного куска металла и свести к минимуму число возможных стыков стенок. В резонаторе возбуждают одно из основных колебаний Яш, Е01 или Я011 и измеряют собственную добротность резонатора.
Схема включения приборов для измерения сопротивлений.| Схема измерения поверхностного сопротивления изоляционных материалов при помощи гальванометра. На рис. 84 показана схема измерения поверхностного сопротивления изоляционного материала при помощи гальванометра и вольтметра.
На рис. 107 показана схема измерения поверхностного сопротивления изоляционного материала при помощи гальванометра и вольтметра.

На рис. 11.3, в показана схема измерения поверхностного сопротивления. Здесь Iv 0, так как разность потенциалов между электродами А и Б равна нулю, а амперметр показывает значение тока, протекающего между электродами А и В; ток I s в цепь измерителя тока не попадает.
На рис. 11.3, в показана схема измерения поверхностного сопротивления.
Схема измерения объемного сопротивления диэлектрика.| Схема измерения поверхностного сопротивления диэлектрика. На рис. 17 - 21 изображена схема для измерения поверхностного сопротивления.
Фотография декорированного косого шлифа ( а 4 р-п - р структуры.| Спектральная характеристика сканистора ( с как сумма спектральной чувствительности эмиттерного р-п перехода ( э и коллекторного р-п перехода ( к. Преддиффузия проводилась из параллельного источника при 980 С в течение 10 мин в открытой печи после чего проводилось измерение поверхностного сопротивления 4-зондовым методом.
Кроме того, не рассматриваются измерения, выполняемые в соответствии с технологией до начала изготовления непосредственно полупроводникового прибора ( например, измерения поверхностного сопротивления пластин), поскольку они не входят в содержание данной книги. Методика этих измерений освещена в соответствующей литературе.
Кроме того, не рассматриваются измерения, выполняемые в соответствии с технологией до начала изготовления непосредственно полупроводникового прибора ( например, измерение поверхностного сопротивления пластин), поскольку они не входят в содержание данной книги. Методика этих измерений освещена в соответствующей литературе.
Измерение удельных объемного ( о и поверхностного ( О сопротивлений при помощи охранных электродов. На рис. 44 а представлен элементарный объем с электродами, расположенными на боковых гранях, а на рис. 44 6 - аналогичная схема измерения поверхностного сопротивления на элементарной площади.
Схема установки для осуществления диффузии в потоке. В работе предлагается: 1) осуществить двухстадийную диффузию бора ( загонка - разгонка) в кремний n - типа в проточной системе; 2) произвести измерения поверхностного сопротивления диффузионного слоя; 3) рассчитать кривую распределения примеси и глубину залегания р-п-перехода; 4) методом косого шлифа определить толщину диффузионного слоя экспериментально; 5) изучить вольт-амперную характеристику полученной диодной структуры.
Схема установки для осуществления диффузии в потоке. В работе предлагается: 1) осуществить двухстадийную диффузию бора ( загонка - разгонка) в кремний n - типа в проточной системе; 2) произвести измерения поверхностного сопротивления диффузионного слоя; 3) рассчитать кривую распределения примеси и глубину залегания р-п-перехода; 4) методом косого шлифа определить толщину диффузионного слоя экспериментально; 5) изучить вольт-амперную характеристику полученной диодной структуры.
Схема измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом.
С этой целью измерения поверхностного сопротивления ( проводимости) чередуют со снятием тонких поверхностных слоев кремния ( анодное окисление и травление SiO2) вплоть до дна р-п - перехода.
Схема измерения поверхностного сопротивления.| Образец гребенчатого типа для измерения поверхностного сопротивления. В большинстве случаев образцы не соответствуют по конфигурации проводникам платы, так как линии на образце, как правило, меньше по ширине и расположены ближе друг к другу, чем на плате. Однако при необходимости можно использовать для измерений поверхностного сопротивления любое число подобных образцов; так как на образце линии узкие и расположены близко друг к другу, необходимо обратить внимание на их четкость и отсутствие повреждений.
Из изложенного видно, что понятие антистатический материал не является полностью однозначным, оно тесно связано с применяемыми методами измерения. При максимальных требованиях к качеству антистатической обработки пластмасс надежные результаты дает измерение поверхностного сопротивления или скорости зарядки испытуемых образцов. Если поверхностное сопротивление падает ниже 1010 ом, то электростатический заряд исчезает прежде, чем успеет проявиться какое-либо нежелательное действие его.
Приборы ПКП и СВП позволяют контролировать также параметры эпитаксиальных слоев на исходной полупроводниковой основе. Параметры диффузионных структур силовых кремниевых приборов, кремниевых и германиевых интегральных схем и кремниевых солнечных элементов контролируются радиоволновыми и вихретоковыми приборами на разных стадиях технологического процесса. Радиоволновые приборы серии СВП применяют для измерения поверхностного сопротивления Rs диффузионных слоев, например р - р - слоев силовых приборов, р - р-п - п - структур. Значение Rs низкоомных диффузионных слоев кремниевьк тири-сторных структур определяют приборами типа ВИИС. Все описанные измерения выполняются с помощью предварительно построенных по образцам градуировочных графиков.
На рис. 44 показано использование охранных электродов для измерения объемного и поверхностного электрических сопротивлений. На охранном электроде создается тот же потенциал, что и на измерительном, но ток, идущий к охранному электроду, не учитывается при вычислении сопротивления образца. Этим методом удается в значительной степени разделить поверхностное и объемное сопротивления и устранить влияние растекания тока. Однако надежно измерить истинное поверхностное сопротивление очень трудно, если вообще возможно, и подсоединение охранных электродов к тыловой стороне образца ( рис. 44 6) лишь частично устраняет влияние объемного тока при измерении поверхностного сопротивления. Более того, при измерении поверхностного сопротивления очень тонких образцов может ошибочно наблюдаться кажущееся повышение сопротивления из-за того, что часть поверхностных токов начнет уходить на охранный электрод. В условиях стандартной методики измерения сопротивления оговорены также и многочисленные другие факторы, существенные для получения воспроизводимых результатов. Общие принципы измерения электрических сопротивлений могут быть применены и к изоляции, изготовленной из пластмассы. Несмотря на кажущуюся простоту, при измерении электрического сопротивления обычно возникает больше экспериментальных ошибок, чем при измерении любых других электрических величин.
На рис. 44 показано использование охранных электродов для измерения объемного и поверхностного электрических сопротивлений. На охранном электроде создается тот же потенциал, что и на измерительном, но ток, идущий к охранному электроду, не учитывается при вычислении сопротивления образца. Этим методом удается в значительной степени разделить поверхностное и объемное сопротивления и устранить влияние растекания тока. Однако надежно измерить истинное поверхностное сопротивление очень трудно, если вообще возможно, и подсоединение охранных электродов к тыловой стороне образца ( рис. 44 6) лишь частично устраняет влияние объемного тока при измерении поверхностного сопротивления. Более того, при измерении поверхностного сопротивления очень тонких образцов может ошибочно наблюдаться кажущееся повышение сопротивления из-за того, что часть поверхностных токов начнет уходить на охранный электрод. В условиях стандартной методики измерения сопротивления оговорены также и многочисленные другие факторы, существенные для получения воспроизводимых результатов. Общие принципы измерения электрических сопротивлений могут быть применены и к изоляции, изготовленной из пластмассы. Несмотря на кажущуюся простоту, при измерении электрического сопротивления обычно возникает больше экспериментальных ошибок, чем при измерении любых других электрических величин.
Любой электрический аппарат обязательно содержит изоляционные детали. Следовательно, должны быть соблюдены определенные нормы на характеристики изоляции. Эти характеристики могут изменяться в зависимости от условий работы, хранения, траспортировки, Особенно сильное воздействие на электрическую изоляцию оказывает коммутационная дуга за счет высоких температур, термоударов, переноса эрозируемого металла. Поэтому проверка характеристик изоляционных материалов осуществляется при первоначальном их выборе, в процессе разработки аппаратов и в последующем процессе производства и эксплуатации. Проверка включает, в частности, измерение объемного и поверхностного сопротивления, а также измерение напряжения пробоя.
 
Loading
на заглавную 10 самыхСловариО сайтеОбратная связь к началу страницы

© 2008 - 2014
словарь online
словарь
одноклассники
XHTML | CSS
Лицензиар ngpedia.ru
1.8.11